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產品展示

全自動脈沖加熱共晶機 PH-550P

全自動脈沖加熱共晶機 PH-550P

COC共晶機



1.PH-550 是 COB,COC 制程中將基底與芯片,在 CDD 定位后經過控制溫度曲線熔化焊料從而鍵合在一起 的共晶設備。 

2.設備主要由共晶臺,貼片機械手,晶圓臺(含晶 片盒),下校準臺,上下料機械手等組成。 

3.共晶臺包含 X、Y、T 三軸系統組成,上面設置共 晶加熱模塊,氮氣保護系統。 

4.貼片機械手包含 X、Y、Z、T 四軸機構,對芯片 的位置,角度校準。 

5.芯片校準臺包含 X、Y、T 三軸機構,對芯片上表 面進行識別,保證貼片精度。 

6.共晶模塊采用脈沖加熱方式,溫度可分段設定, 溫度升降及焊接時間可精準控制。


產品詳情



一、 基本功能

項目

內容

共晶產品

COC

---

基底上料方式

2寸料盒

晶片上料方式

熱沉

6寸晶圓,兼容一個2寸Waffle PAK

芯片

6寸晶圓,兼容一個2寸Gel PAK

共晶臺

1

脈沖共晶臺

共晶方式

逐個共晶

共晶效率

單顆20左右(基底+熱沉+LD芯片)


二、 控制部分

項目

內容

操作界面

圖形用戶界面,無線鍵鼠操作+獨立啟停按鈕

全機初始化

界面按鈕

氣缸控制

界面按鈕

傳感器狀態檢查

界面按鈕

運動軸位置檢查

界面控制

速度調整

界面控制

生產信息

界面顯示


三、 圖像識別

項目

內容

CCD數量

6套

CCD用途

熱沉晶圓定位

熱沉底部定位

芯片晶圓定位

芯片正面校準定位

共晶臺定位

CCD對焦方式

機械手動調節

CCD分辨率

128960

CCD鏡頭

變倍鏡頭:0.6 - 7

CCD相機

130萬像素

光源

同軸光源

外置LED環形光

光源亮度調整

可獨立調整識別/觀察亮度

識別方式

邊沿識別,特征教導,相似度設定

角度識別范圍

0~360°

角度辨識錯誤率

≤1‰

模板特征編輯

可擦除遮蔽干擾特征


四、 機械手部分

項目

內容

吸嘴切換

手動更換 

吸頭材質

金屬吸嘴,電木吸嘴

機械手指定

LD拾取機械手

從晶圓拾取LD芯片,放置校準臺

LD共晶機械手

從校準臺拾取LD芯片,貼放共晶

熱沉拾取貼片機械手

從熱沉晶圓拾取熱沉,貼放共晶

管座拾放機械手

從管座料盤取放管座

定位重復精度

X

±1 um

Y

± 1 um

Z

± 2 um

θ

± 0.01°

電機類型

X

直線電機

Y

直線電機

Z

步進電機

θ

步進電機

取置壓力控制方式

吸頭自重+彈簧

取置壓力范圍

拉力彈簧,壓力范圍10~200g(更換拉簧規格)


五、 脈沖共晶臺部分

項目

內容

共晶方式

脈沖加熱 

共晶面積范圍

20x20 mm

共晶工作臺

X

± 2 um

Y

± 2 um

Z

-----------

θ

范圍±10°精度± 0.01°

電機類型

X

伺服電機

Y

伺服電機

Z

-----------

θ

步進電機

共晶臺加熱

電流脈沖 分段加熱

共晶臺冷卻

風冷

加熱速度

150°/sec

環境保護

氮氣環境


六、 基底上下料部分

項目

內容

機械手

X

± 2 um

Y

± 2 um

Z

± 2 um

θ

-----------

電機類型

X

伺服電機

Y

伺服電機

Z

步進電機

θ

-----------

吸嘴

手動更換

上下料方式

逐個取放

料盒

兩個,2


七、 電氣需求

項目

內容

電力

電源類型

交流

電壓

220V

相數

單相

功率峰時)

6000W

壓縮空氣

0.5 ~ 0.7MPa

真空

氣壓范圍

60 ~90kPa

重量

1500kg

其它

氮氣

吸嘴及共晶臺

壓縮空氣過濾器

部件

真空過濾器

部件

環境溫度要求

26℃

環境振動要求

VC-D

設備噪音

<50分貝

真空泵噪音

<60分貝


八、 附件一(隨機資料)   

項目

內容

說明書——中文操作說明書

紙質版、電子版各一份/

圖紙——電路圖

電子版1

圖紙——氣路圖

電子版1


九、 附件二 (參數)  

設備尺寸

X1640×Y1420×Z1840(mm)

重量

1500KG

功率峰時)

6KW

氣壓

0.5~0.7MP

電壓

220W

生產效率

單顆20左右(基底+熱沉+LD芯片)

位置精度

±2μm

角度精度

±0.01°

固晶壓力

10~200g

晶圓尺寸

6"×2(tray   2"X2")

共晶臺面尺寸

20x20 mm

芯片尺寸

0.2~2mm(其它尺寸需選配)


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